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不锈钢风淋室半导体车间的应用

发布时间:2018-12-03

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,

应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。

例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以必须有0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,

幸运赛车开奖直播是怕钠的半导体车间因为人出汗以后,对产品将有污染,

不锈钢风淋室特别特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。

相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。

风淋室标准功能配置及产品特,相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子?



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